Différences
Ci-dessous, les différences entre deux révisions de la page.
| Les deux révisions précédentes Révision précédente | |||
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equipements [2022/05/12 16:47] majjad [Thin film depostion:] |
equipements [2024/04/25 16:15] (Version actuelle) majjad |
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|---|---|---|---|
| Ligne 1: | Ligne 1: | ||
| ====== Nanofabrication : Equipments ====== | ====== Nanofabrication : Equipments ====== | ||
| - | ===== Thin film depostion | + | ===== Lithography |
| + | MJB4 mask aligner\\ | ||
| + | MJB3 mask aligner\\ | ||
| + | µpg101 laser lithography\\ | ||
| + | Zeiss Supra 40 + Raith Elphy plus (EBL) | ||
| + | ===== Thin film depostion Tools: ===== | ||
| MEB550S ebeam Evaporator\\ | MEB550S ebeam Evaporator\\ | ||
| - | MEB300 Thermal Evaporator | + | MEB300 Thermal Evaporator\\ |
| + | EVA300 RF Sputtering | ||
| ===== Etching Tools: ===== | ===== Etching Tools: ===== | ||