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equipements [2022/04/25 15:05]
admin créée
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majjad
Ligne 1: Ligne 1:
-====== Nanofabrication : Equipements ======+====== Nanofabrication : Equipments ====== 
 +===== Lithography Tools: ===== 
 +MJB4 mask aligner\\ 
 +MJB3 mask aligner\\ 
 +µpg101 laser lithography\\ 
 +Zeiss Supra 40 + Raith Elphy plus (EBL) 
 + 
 +===== Thin film depostion Tools: ===== 
 +MEB550S ebeam Evaporator\\ 
 +MEB300 Thermal Evaporator\\ 
 +EVA300 RF Sputtering 
 + 
 +===== Etching Tools: ===== 
 +RIE-ICP plasmalab 80 plus\\ 
 +IBE-SIMS Elletrovara