Ceci est une ancienne révision du document !
Table des matières
Nanofabrication : Equipments
Thin film depostion Tools:
MEB550S ebeam Evaporator
MEB300 Thermal Evaporator
Etching Tools:
RIE-ICP plasmalab 80 plus
IBE-SIMS Elletrovara
Ceci est une ancienne révision du document !
MEB550S ebeam Evaporator
MEB300 Thermal Evaporator
RIE-ICP plasmalab 80 plus
IBE-SIMS Elletrovara